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COSMOS新宇宙半導體材料氣體檢測儀 XPS-7II的操作使用

更新時間:2025-11-03點擊次數:35

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COSMOS 新宇宙半導體材料氣體檢測儀 XPS-7II 的操作使用方法如下:
  • 開機與準備

    • 安裝電池:使用 4 節 5 號堿性電池或專用 AC 適配器為儀器供電。

    • 開機:按下電源開關,儀器進行初始化,包括自檢和傳感器預熱。根據傳感器類型和環境條件,預熱時間可能有所不同,一般需要幾分鐘。

  • 氣體檢測

    • 選擇傳感器:儀器采用模塊化傳感器設計,通過更換專用盒式傳感器單元,可檢測氯氣、氯化氫、氨氣、硅烷等多種半導體工藝常用毒性氣體及特殊材料氣體。將所需的傳感器單元正確插入儀器中。

    • 放置儀器:將儀器放置在需要檢測的環境中,儀器會自動以 350±100ml/min 的流量抽取氣體進行檢測。儀器應答速度快,60 秒內即可達到 60% 響應。

    • 讀取數據:檢測結果通過 LED 數字顯示,可顯示測定值、表示狀態、電量、數據存儲狀態等信息。指示精度達滿量程 ±10% 以內,顯示分辨率根據氣體種類可達滿量程的 1/100 或 1/200。

  • 報警設置與響應

    • 報警設置:儀器具備兩段式報警功能,可根據實際需求設置報警閾值。

    • 報警響應:當氣體濃度達到預設閾值時,儀器會通過蜂鳴器間歇鳴叫(濃度升高時頻率加快,高濃度時連續鳴叫)、紅色報警燈閃爍及 LCD 閃爍三重提示,確保現場人員快速察覺風險。

  • 數據記錄與傳輸

    • 數據記錄:儀器內置存儲功能,可記錄最近 1000 條數據。

    • 數據傳輸:支持 USB 或藍牙傳輸,可將數據傳輸至 PC 或移動端,以便進行進一步的分析和處理。

  • 關機與維護

    • 關機:按下電源開關,持續數秒,直到儀器屏幕顯示關閉,即可完成關機操作。

    • 維護:儀器采用一體化盒式傳感器單元,更換時無需進行氣體校正,僅需簡單插拔即可完成傳感器更換,單人操作即可完成維護。


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