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產(chǎn)品型號
UX-4458SC -
廠商性質(zhì)
經(jīng)銷商 -
更新時間
2025-09-03 -
瀏覽次數(shù)
289
產(chǎn)品描述
日本進口USHIO牛尾投影式光刻機UX-4系列 操作方式與對準(zhǔn)精度:屬于手動操作、接觸式對準(zhǔn)曝光機,使用對物鏡 20× 時,對準(zhǔn)精度 < 1.2μm,能夠較為精確地將掩模上的圖案對準(zhǔn)到晶圓或基板上,保證圖案轉(zhuǎn)移的準(zhǔn)確性。